簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "技術".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="次級解析輔助特徵"


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    應用基因演算法於含次級解析輔助特徵圖案之光學鄰近修正技術
    • 自動化及控制研究所 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃鈺儒 指導教授: 郭鴻飛
    • 由於極紫外光微影系統技術開發上仍有困難,無法立即取代現有生產線上ArF-193nm浸潤式微影系統微影製程生產,因此吸引許多研究者尋找改善方案,其中可利用光源光罩最佳化程序搜尋最佳的光罩圖案設計與對應…
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